Термическая кристаллизация германия на кремнии из дискретного жидкофазного источника через вакуумную зону

Юж.-Рос. гос. политехн. ун-т им. М.И. Платова, Новочеркасск

150 стр.

Термическая кристаллизация германия на кремнии из дискретного жидкофазного источника через вакуумную зону — Яценко, Алексей Николаевич — 2017 — Российская библиотека диссертаций