Управление электрофизическими и структурными свойствами поликремния отжигом CO₂-лазером и имплантацией Ar⁺, O⁺

Вильнюс

22 стр.

Управление электрофизическими и структурными свойствами поликремния отжигом CO₂-лазером и имплантацией Ar⁺, O⁺ — Урбялис, Артурас Йонушович — 1986 — Российская библиотека диссертаций