Устойчивость атомарной структуры оксида кремния после радиационно-термической обработки МОП приборов

Национальный исследовательский ядерный университет, Москва

106 стр.

Устойчивость атомарной структуры оксида кремния после радиационно-термической обработки МОП приборов — Протопопов, Григорий Александрович — 2011 — Российская библиотека диссертаций