Обложка работы «Влияние фемтосекундного лазерного облучения и термического отжига на структурные, оптические и электрофизические свойства кремниевых наносистем». Автор: Шулейко, Дмитрий Валерьевич. Степень: Канд. наук. Год: 2019

Влияние фемтосекундного лазерного облучения и термического отжига на структурные, оптические и электрофизические свойства кремниевых наносистем

ФГБОУ ВО «Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова», Москва

127 стр.

Ключевые слова

кремниевые наноструктуры, модифицирование лазерным излучением кремниевых пленок

Влияние фемтосекундного лазерного облучения и термического отжига на структурные, оптические и электрофизические свойства кремниевых наносистем — Шулейко, Дмитрий Валерьевич — 2019 — Российская библиотека диссертаций