Влияние ионного облучения и окисления на поверхностные свойства кремния

Нальчик

147 стр.

Влияние ионного облучения и окисления на поверхностные свойства кремния — Калмыков, Шагирби Адальбиевич — 1986 — Российская библиотека диссертаций