Влияние термообработок в водороде на эволюцию примесно-дефектной подсистемы кремния

Москва

117 стр.

Ключевые слова

кремний

Влияние термообработок в водороде на эволюцию примесно-дефектной подсистемы кремния — Шокина, Джульетта Ивановна — 1995 — Российская библиотека диссертаций