Влияние третьего компонента на распределение дефектов и примесей в бездислокационных монокристаллах кремния для интегральных схем

Москва

182 стр.

Влияние третьего компонента на распределение дефектов и примесей в бездислокационных монокристаллах кремния для интегральных схем — Макеев, Марат Хасанович — 1998 — Российская библиотека диссертаций