Влияние всестороннего давления на образование и трансформацию дефектов в ионно-легированных полупроводниковых слоях и других структурах микроэлектроники

Нижний Новгород

173 стр.

Влияние всестороннего давления на образование и трансформацию дефектов в ионно-легированных полупроводниковых слоях и других структурах микроэлектроники — Васин, Александр Сергеевич — 1993 — Российская библиотека диссертаций