Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии

Москва

193 стр.

Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии — Сергеева, Жанна Михайловна — 1994 — Российская библиотека диссертаций