Закономерности роста и физические свойства гетероэпитаксиальных структур на основе КРТ при плазмостимулированном осаждении из МОС

Нижний Новгород

174 стр.

Ключевые слова

гетероэпитаксиальные структуры

Закономерности роста и физические свойства гетероэпитаксиальных структур на основе КРТ при плазмостимулированном осаждении из МОС — Бенюшис, Татьяна Ионисовна — 1996 — Российская библиотека диссертаций