Размерная обработка керамических подложек на электронно-лучевой установке "ЛУЧ"Чжо Янян · 2023 · Канд. наук · ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)» ; Диссовет (24.2.331.16)