Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики

Москва

315 стр.

Ключевые слова

получение тонких полиимидных структур

Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики — Жуков, Андрей Александрович — 2003 — Российская библиотека диссертаций