Использование ионно-электронной эмиссии для контроля процессов ионно-лучевого травления пленочных структур

Москва

221 стр.

Использование ионно-электронной эмиссии для контроля процессов ионно-лучевого травления пленочных структур — Журавлев, Андрей Валерьевич — 1993 — Российская библиотека диссертаций