Обложка работы «Исследование и разработка физико-технологических методов создания оптических микроэлектромеханических систем». Автор: Баклыков, Дмитрий Алексеевич. Степень: Канд. наук. Год: 2024

Исследование и разработка физико-технологических методов создания оптических микроэлектромеханических систем

ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)» ; Диссовет 24.2.331.16 (24.2.331.16), Москва

171 стр.

Исследование и разработка физико-технологических методов создания оптических микроэлектромеханических систем — Баклыков, Дмитрий Алексеевич — 2024 — Российская библиотека диссертаций