Структурные свойства мезопористых пленок, сформированных методом молекулярной самосборки для технологий микроэлектронного производства

МИРЭА - Российский технологический университет ; Диссовет 24.2.326.07, Москва

150 стр.

Структурные свойства мезопористых пленок, сформированных методом молекулярной самосборки для технологий микроэлектронного производства — Воротынцев, Дмитрий Александрович — 2026 — Российская библиотека диссертаций