Исследование и разработка технологии формирования базовых слоев сверхпроводниковых интегральных схем на основе тантала и ниобия

ФГАОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)» ; Диссовет 24.2.331.16 (24.2.331.16), Москва

127 стр.

Исследование и разработка технологии формирования базовых слоев сверхпроводниковых интегральных схем на основе тантала и ниобия — Зикий, Евгений Владимирович — 2025 — Российская библиотека диссертаций