Пористый кремний, сформированный металл стимулированным травлением, для создания функционального элемента генератора энергии с прямым окислением этанола и резистивных газовых сенсоров

ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» ; Диссовет Д 212.134.XX (24.2.342.02), Москва

Пористый кремний, сформированный металл стимулированным травлением, для создания функционального элемента генератора энергии с прямым окислением этанола и резистивных газовых сенсоров — Силаков, Геннадий Олегович — 2024 — Российская библиотека диссертаций