Разработка и исследование метода уменьшения механических напряжений при формировании оксидных тонкопленочных покрытий в вакууме

«Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)» ; Диссовет 24.2.331.16, Москва

227 стр.

Разработка и исследование метода уменьшения механических напряжений при формировании оксидных тонкопленочных покрытий в вакууме — Купцов, Алексей Дмитриевич — 2026 — Российская библиотека диссертаций