Разработка технологии производства кремниевых эпитаксиальных структур для силовых приборов

Москва

166 стр.

Разработка технологии производства кремниевых эпитаксиальных структур для силовых приборов — Харламов, Роман Валентинович — 2000 — Российская библиотека диссертаций