Обложка работы «Разработка технологии производства кремниевых эпитаксиальных структур для силовых приборов». Автор: Харламов, Роман Валентинович. Степень: Канд. наук. Год: 2000

Разработка технологии производства кремниевых эпитаксиальных структур для силовых приборов

Москва

166 стр.