Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств

шифр 2.2.2. • до 2022 года: 05.27.01 «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах»; 05.27.03 «Квантовая электроника»

1. Исследование и разработка интегральных преобразователей влажности для контроля технологических сред микроэлектроники

   Ярышевский, Михаил Анатольевич · 1991 · Канд. наук

   • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
2. Механизмы деградации кремниевых ЛПД и p-i-n диодов и методы контроля их качества

   Щербина, Людмила Викторовна · 1991 · Канд. наук

   • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
3. Эллипсометрический метод контроля параметров сложных диэлектрических структур

   Щапова, Ирина Анатольевна · 1991 · Канд. наук

   • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
4. Стационарный и импульсный отжиг тонких пленок

   Чапланов, Аркадий Михайлович · 1991 · Докт. наук

   • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
5. Разработка интегральных сорбционных преобразователей влажности и температуры для контроля атмосферы в корпусах интегральных микросхем и методик определения тепловых сопротивлений корпусов и содержания влаги в их объеме

   Чернышов, Александр Анатольевич · 1991 · Канд. наук

   • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
6. Осаждение диэлектрических пленок методом динамической плазменной обработки с целью применения в электронной технике

   Цветкова, Юлия Владимировна · 1991 · Канд. наук

   • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах