Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств

шифр 2.2.2. • до 2022 года: 05.27.01 «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах»; 05.27.03 «Квантовая электроника»

1. Разработка конструктивно-технологических методов создания высококачественных изделий кремниевой микроэлектроники

   Нисков, Валерий Яковлевич · 1997 · Докт. наук

   • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
2. Пленки ВТСП-материалов : Методы получения, структур. особенности, сверхпроводящие свойства, применение в микроэлектронике

   Илюшечкин, Александр Юрьевич · 1997 · Канд. наук

   • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
3. Пространственно-временная модуляция рентгеновского излучения

   Щелоков, Игорь Александрович · 1997 · Канд. наук

   • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
4. Спектральные и динамические характеристики излучения инжекционных лазеров и суперлюминесцентных диодов на основе квантоворазмерных гетероструктур

   Шраменко, Михаил Васильевич · 1997 · Канд. наук

   • 05.27.03 Квантовая электроника
5. Теоретическое исследование глубокого анизотропного травления кремниевых структур в низкотемпературной плазме

   Лукичев, Владимир Федорович · 1997 · Докт. наук

   • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
6. Пироэлектрические тонкие пленки и их применение в многоэлементных интегральных приемниках

   Певцов, Евгений Филиппович · 1997 · Канд. наук

   • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
7. Кремниевые интегральные сенсоры вектора индукции магнитного поля

   Романов, Игорь Михайлович · 1997 · Канд. наук

   • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
8. Обеспечение качества микросоединений в полупроводниковых изделиях в процессе их разработки и серийного производства

   Зенин, Виктор Васильевич · 1997 · Докт. наук

   • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
9. Частотные свойства и характеристики обратносмещенных коммутационных pin-диодных структур

   Дроздовская, Людмила Михайловна · 1997 · Канд. наук

   • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
10. Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов

    Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич · 1997 · Докт. наук

    • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
11. Физико-технологические принципы и методы обеспечения качества КМОП БИС массового производства

    Красников, Геннадий Яковлевич · 1996 · Докт. наук

    • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
12. Повышение надежности интегральных схем в процессе серийного производства методом выравнивающей технологии

    Королев, Сергей Юрьевич · 1996 · Канд. наук

    • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
13. Моделирование электронных процессов в сверхскоростных биполярных гетероструктурных транзисторах

    Кулькова, Елена Юрьевна · 1996 · Канд. наук

    • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
14. Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа

    Пашков, Владимир Юрьевич · 1996 · Канд. наук

    • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
15. Разработка и исследование интегральных мультиплексоров, предназначенных для работы при низких температурах

    Бокк, Николай Эдуардович · 1996 · Канд. наук

    • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
16. Оптические голографические элементы на основе волноводных голограмм для систем отображения визуальной информации

    Чернопятов, Александр Викторович · 1996 · Канд. наук

    • 05.27.03 Квантовая электроника
17. Реконструкция микрорельефа поверхности и состава приповерхностных слоев объектов микроэлектроники по рентгенофлуоресцентному сигналу

    Чукалина, Марина Валерьевна · 1996 · Канд. наук

    • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
18. Система конструктивных элементов и их взаимодействие в цифровых микросхемах на арсениде галлия

    Адамов, Юрий Федорович · 1996 · Докт. наук

    • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
19. Оптимизация режимов магнетронного осаждения пленок оксидов металлов для устройств функциональной микроэлектроники

    Фартушная, Вера Михайловна · 1996 · Канд. наук

    • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
20. Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхронного излучения

    Филатова, Маргарита Сергеевна · 1996 · Канд. наук

    • 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах