Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники

шифр 2.2.3. • до 2022 года: 05.27.06 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники»

1. Исследование условий и разработка технологии получения эпитаксиальных структур антимонида индия для многоэлементных фотоприемников

   Армягова, Оксана Павловна · 1996 · Канд. наук

   • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
2. Фазовые равновесия в системе Ва-Сu-О

   Скоробогатова, Ольга Викторовна · 1996 · Канд. наук

   • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
3. Исследование и разработка технологии изготовления термостабильных слабопроникающих контактных систем кремниевых ИС

   Громов, Дмитрий Геннадьевич · 1996 · Канд. наук

   • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
4. Исследоввание процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния

   Ковалгин, Алексей Юрьевич · 1995 · Канд. наук

   • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
5. Влияние условий синтеза и легирования на люминесценцию и послесвечения ZrO2 Ti

   Тришканева, Марина Валерьевна · 1995 · Канд. наук

   • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
6. Разработка и исследование титановых ситаллоцементов для толстопленочной электроники

   Репин, Вадим Анатольевич · 1995 · Канд. наук

   • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
7. Трековые мембраны : Теория, эксперимент, основы технологии пром. пр-ва, применение

   Шестаков, Владимир Дмитриевич · 1995 · Докт. наук

   • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
8. Разработка эффективных полупроводниковых термоэлементов на основе соединений А 5V 0В 5VI 0, А 5IV 0В 5VI 0 и технологических способов их получения

   Полистанский, Ю. Г. · 1994 · Докт. наук

   • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
9. Физико-химические аспекты экологического обеспечения технологии динамической плазменной обработкиповерхности твердого тела

   Андреева, М. Ю. · 1994 · Канд. наук

   • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
10. Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производстве ИС

    Трубин, Игорь Сергеевич · 1994 · Канд. наук

    • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
11. Синтез диэлектрических многокомпонентных материалов в высокочастотной плазме и исследование их свойств

    Тимошенков, С. П. · 1994 · Канд. наук

    • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
12. Разработка физико-химических основ получения пятикомпонентных твердых растворов JnАlGаАsSb в поле температурного градиента

    Овчинников, Вадим Алексеевич · 1994 · Канд. наук

    • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
13. Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии

    Сергеева, Жанна Михайловна · 1994 · Канд. наук

    • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
14. Физико-технологические основы разработок эффективных металлосплавных и металлооксидных катодных материалов и катодов на их основе для мощных ЭВП

    Есаулов, Николай Петрович · 1994 · Докт. наук

    • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
15. Синтез и люминесценция легированного нитрида кремния

    Черновец, Борис Васильевич · 1993 · Канд. наук

    • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
16. Физико-технологические основы ионно-плазменного травления карбида кремния

    Чжан Хай-Ин · 1993 · Канд. наук

    • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
17. Воздействие изовалентных примесей на структуру и свойства полупроводников A III B V в условиях жидкофазной эпитаксии

    Акчурин, Р. Х. · 1993 · Докт. наук

    • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
18. Использование ионно-электронной эмиссии для контроля процессов ионно-лучевого травления пленочных структур

    Журавлев, Андрей Валерьевич · 1993 · Канд. наук

    • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
19. Разработка термостойких безметаллоидных аморфных сплавов на основе рения для электронной техники

    Обвинцев, Юрий Алексеевич · 1992 · Канд. наук

    • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
20. Разработка и исследование оптимальных режимов монокристаллического роста нитрида алюминия

    Мельник, Юрий Владленович · 1992 · Канд. наук

    • 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники